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SEMI F47-0706 |
SEMI 是 Semiconductor
Equipment Materials International 的簡稱,這是一個服務據點遍佈全球, 且擁有2,000個以上會員的世界性貿易組織,SEMI 針對半導體製程相關設備,制定了對於供電系統, 電壓瞬降應變能力之規範 --- SEMI SEMI F47-0706,供半導體設備製造商遵守。 |
何謂 SEMI F47 --電壓瞬降測試: |
電壓瞬降通常是指:負載端電壓值降到額定電壓值的90%以下,並持續
0.5~60 cycles,在對於 電力供應品質要求甚高的晶圓相關產業,一旦發生電壓瞬降,不僅敏感的微電腦自動控制設備造成 不可預期的傷害,也會使得製程中斷,而產生極大的損失,為了能保護您敏感的設備能夠免於電壓 瞬降的危害,對電力供應之可靠度與電源品質有較嚴格的要求,在 SEMI F47-0706 中規定半導體制 程設備對電壓瞬降的耐受時間,在電壓為50%標稱值時為0.2秒、電壓為70%標稱值時為0.5秒、 電壓為80%標稱值時為1秒,相較F47-0200增加推薦的電壓瞬降的耐受時間,在電壓為0%標稱值時 為1周,電壓為80%標稱值時為600周。 |
SEMI F47 --電壓瞬降測試特性曲線圖(以 50Hz 為例): |
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SEMI F47 --電壓瞬降測試要求: |
Voltage Sag | Duration of Voltage Sag | |||
Percent of Equipment Nominal Voltage |
Seconds(s) | milli-Seconds(ms) | Cycles at 60 Hz | Cycles at 50 Hz |
50% | 0.2s | 200ms | 12 cycles | 10 cycles |
70% | 0.5s | 500ms | 30 cycles | 25 cycles |
80% | 1.0s | 1000ms | 60 cycles | 50 cycles |
SEMI F47 --電壓瞬降測試建議: |
Voltage Sag | Duration of Voltage Sag | |
Percent of Equipment Nominal Voltage |
Cycles at 60 Hz | Cycles at 50 Hz |
0% | 1 cycles | 1 cycles |
80% | 600 cycles | 500 cycles |
SEMI F47 目的: | |
● |
減少或消除用電池儲存裝置,來達到電壓突波消除的方法。 |
● |
即使電源系統完全故障,安全連動系統也可以動作。 |
產品 |
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我們擁有強大的技術團隊以及多樣、實用的產品,協助您解決在 IEEE、IEC 以及 SEMI F47 標準適應性的問題。 | |
AC Power Source: |
幫助您避免發生電源瞬降的情況,提供您的晶圓設備絕佳的穩定電源 , 符合 SEMI F47-0706 的要求。 當您的設備並未符合對於 SEMI F47-0706 的要求,本公司的 AC Power Source 能幫您解決問題 !! |
Voltage Sag Simulator: |
模擬測試您的設備對於 F47 的適應性,避免因為電源瞬降而造成不可預期 的損失,提昇您產品的性能。 |
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