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SEMI F47-0200 |
SEMI 是 Semiconductor
Equipment Materials International 的简称,这是一个服务据点遍布全球, 且拥有2,000个以上会员的世界性贸易组织,SEMI 针对半导体制程相关设备,制定了对于供电系统, 电压瞬降应变能力之规范 --- SEMI SEMI F47-0200,供半导体设备制造商遵守。 |
何谓 SEMI F47 --电压瞬降测试: |
电压瞬降通常是指:负载端电压值降到额定电压值的90%以下,并持续
0.5~60 cycles,在对于 电力供应品质要求甚高的晶圆相关产业,一旦发生电压瞬降,不仅敏感的微电脑自动控制设备造成 不可预期的伤害,也会使得制程中断,而产生极大的损失,为了能保护您敏感的设备能够免于电压 瞬降的危害,对电力供应之可靠度与电源品质有较严格的要求,在 SEMI F47-0200 中规定半导体制 程设备对电压瞬降的耐受时间在电压为50%标称值时为0.05秒至0.2秒、0.2秒至0.5秒间的容许电压 为标称值之70%、0.5秒至1.0秒之容许电压为80%标称电压值。 |
SEMI F47 --电压瞬降测试特性曲线图: |
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SEMI F47 --电压瞬降测试特性规范表: |
Voltage Sag | Duration of Voltage Sag | |||
Percent of Equipment Nominal Voltage |
Seconds(s) | milli-Seconds(ms) | Cycles at 60 Hz | Cycles at 50 Hz |
Not specified | < 0.05s | < 50ms | < 3 cycles | < 2.5 cycles |
50% | 0.05s ~ 0.2s | 50ms ~ 200ms | 3 ~ 12 cycles | 2.5 ~ 10 cycles |
70% | 0.2s ~ 0.5s | 200ms ~ 500ms | 12 ~ 30 cycles | 10 ~ 25 cycles |
80% | 0.5s ~ 1.0s | 500ms ~ 1000ms | 30 ~ 60 cycles | 25 ~ 50 cycles |
Not specified | > 1.0s | > 1000ms | > 60 cycles | > 50 cycles |
SEMI F47 目的: | |
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减少或消除用电池储存装置,来达到电压突波消除的方法。 |
● |
即使电源系统完全故障,安全连动系统也可以动作。 |
产品 |
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我们拥有强大的技术团队以及多样、实用的产品,协助您解决在 IEEE、IEC 以及 SEMI F47 标准适应性的问题。 | |
AC Power Source: |
帮助您避免发生电源瞬降的情况,提供您的晶圆设备绝佳的稳定电源 , 符合 SEMI F47-0200 的要求。 当您的设备并未符合对于 SEMI F47-0200 的要求,本公司的 AC Power Source 能帮您解决问题 !! |
Voltage Sag Simulator: |
模拟测试您的设备对于 F47 的适应性,避免因为电源瞬降而造成不可预期 的损失,提升您产品的性能。 |
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