IDRC,SEMI F47-0706

技术支援

SEMI F47-0706

SEMI 是 Semiconductor Equipment Materials International 的简称，这是一个服务据点遍布全球，
且拥有2,000个以上会员的世界性贸易组织，SEMI 针对半导体制程相关设备，制定了对于供电系统，
电压瞬降应变能力之规范 --- SEMI SEMI F47-0706，供半导体设备制造商遵守。

何谓 SEMI F47 --电压瞬降测试：

电压瞬降通常是指：负载端电压值降到额定电压值的90%以下，并持续 0.5~60 cycles，在对于
电力供应品质要求甚高的晶圆相关产业，一旦发生电压瞬降，不仅敏感的微电脑自动控制设备造成
不可预期的伤害，也会使得制程中断，而产生极大的损失，为了能保护您敏感的设备能够免于电压
瞬降的危害，对电力供应之可靠度与电源品质有较严格的要求，在 SEMI F47-0706 中规定半导体制
程设备对电压瞬降的耐受时间在电压为50%标称值时为0.2秒、电压为70%标称值时为0.5秒、
电压为80%标称值时为1秒，相较F47-0200增加推荐的电压瞬降的耐受时间，在电压为0%标称值时
为1周，电压为80%标称值时为600周。

SEMI F47 --电压瞬降测试特性曲线图(以 50Hz 为例)：

SEMI F47 --电压瞬降测试要求：

Voltage Sag	Duration of Voltage Sag
Percent of Equipment Nominal Voltage	Seconds(s)	milli-Seconds(ms)	Cycles at 60 Hz	Cycles at 50 Hz
50%	0.2s	200ms	12 cycles	10 cycles
70%	0.5s	500ms	30 cycles	25 cycles
80%	1.0s	1000ms	60 cycles	50 cycles

SEMI F47 --电压瞬降测试建议：

Voltage Sag	Duration of Voltage Sag
Percent of Equipment Nominal Voltage	Cycles at 60 Hz	Cycles at 50 Hz
0%	1 cycles	1 cycles
80%	600 cycles	500 cycles

SEMI F47 目的：
●	减少或消除用电池储存装置，来达到电压突波消除的方法。
●	即使电源系统完全故障，安全连动系统也可以动作。

产品：
我们拥有强大的技术团队以及多样、实用的产品，协助您解决在 IEEE、IEC 以及 SEMI F47 标准适应性的问题。

AC Power Source：	帮助您避免发生电源瞬降的情况，提供您的晶圆设备绝佳的稳定电源，符合 SEMI F47-0706 的要求。当您的设备并未符合对于 SEMI F47-0706 的要求，本公司的 AC Power Source 能帮您解决问题 !!

Voltage Sag Simulator：	模拟测试您的设备对于 F47 的适应性，避免因为电源瞬降而造成不可预期的损失，提升您产品的性能。

如需了解更多，请与我们连络。

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